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感應式非接觸式位置傳感器的運動控制原理技術

發布時間:2022-06-07 18:37:42點擊量:

 感應式非接觸式位置傳感器是用于運動控制應用的高精度傳感器。該傳感器旨在監測光學檢測系統的精確運動,該系統測量航天飛機窗戶中的缺陷。感應式非接觸式位置傳感器可應用于精密運動控制、機器人運動、醫療診斷、MEMS加速度計和振動監測。

感應式非接觸式位置傳感器的運動控制原理技術(圖1)

 位置傳感器用于一系列應用,并且有多種類型可根據應用需求量身定制。當前的非接觸式感應傳感器價格便宜但不精確。包括渦流傳感器、電容傳感器和光學/激光位置傳感器在內的其他傳感器類型具有高精度,但更大、更昂貴,并且需要復雜的算法來操作。


 與其他位置傳感器相比,該技術精度高、體積小、價格便宜,并提供絕對位置。它可以在200微米的總范圍內測量低至400納米的位置精度。該傳感器使用廉價的現成組件,總體積不到一立方英寸。通過使用低成本的微控制器,高度線性的輸出使計算變得容易。高信噪比允許傳感器在嘈雜的環境中運行。


 雖然最初設計為一維傳感器,但在實驗室中進行的額外工作改進了設計,使其成為二維的,并提供了作為傾斜/傾斜傳感器的功能。額外的工作還將線性工作區域從大約30度擴展到大約70度。傳感器設計可以放大,以適應更大的運動范圍;但是,放大設計可能會導致分辨率下降。

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