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封閉式柔性壓阻式壓力傳感器的結(jié)構(gòu)變化體系
發(fā)布時間：2022-03-01 17:30:05點擊量：
可擴展的、經(jīng)濟的、簡單的、省時的和環(huán)境友好的柔性壓力傳感器的制造是開發(fā)柔性傳感器/電子產(chǎn)品的主要驅(qū)動力，并且以這種方式制造精密的壓力敏感傳感器是當前的挑戰(zhàn)。
在這里，我們用傳統(tǒng)的聚合物加工方法報道了一種具有上述特性的封閉式柔性壓阻式壓力傳感器。利用市售金屬絲網(wǎng)模板和轉(zhuǎn)印法制備了微結(jié)構(gòu)可定制的聚二甲基硅氧烷/碳納米結(jié)構(gòu)(PDMS/CNS)復(fù)合膜壓力傳感器。獲得具有面對面微結(jié)構(gòu)的適當閉塞配置，派生的傳感器顯示出高壓力靈敏度（1.214 kPa-1)在微壓(<100 Pa)下，
具有超低檢測限(1.75 Pa)、快速響應(yīng)、超低工作電壓(0.1 V)，以及超過1700次循環(huán)的出色傳感穩(wěn)定性。具有可編程尺寸、形狀和靈敏度的壓力傳感器能夠以即時和精確的響應(yīng)區(qū)分不同形式和頻率的輸入壓力信號，從而在柔性電子產(chǎn)品中具有潛在應(yīng)用。
